功能材料用三氧化钨

三氧化钨,作为重要的功能材料,在变色器件、微型传感器、声表面波器件和微流体器件等研究领域备受关注。

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专家表示,在结晶生长优化条件下,采用纳米技术和先进的镀膜技术制备出性能优异的功能薄膜,这对提高器件性能及其应用意义重大。例如,有专家采用水热法在包覆剂调控生长中得到结构新颖的氧化钨纳米晶。也有专家利用磁控溅射技术沉积出高质量的氧化钨薄膜,结合微加工工艺实现了氧化钨多层膜声表面波器件的性能优化,并将该类声波器件用于传感器和微流体液滴控制研究。

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