结晶态三氧化钨膜可以通过磁控溅射沉积再通过热处理获得。通过磁控溅射沉积获得的是非晶态三氧化钨膜，在空气中分别加热200℃，250℃，300℃，350℃及400℃，并保温30min进行热处理。随着热处理温度的提高，非晶态三氧化钨膜的电致变色性能下降。当热处理温度高于350℃时，非晶态转变成结晶态。
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着色的结晶态三氧化钨膜在可见光谱范围（380nm-780nm）及太阳光谱范围内吸收调制能力低于非晶态三氧化钨膜，但是结晶态三氧化钨膜在近红外区有较强的反射调制。基片加温到220℃以上沉积得到的三氧化钨膜均为结晶态。这种结晶态膜的电致变色性能优于空气中热处理得到的结晶态三氧化钨膜，但两种膜的变色性能与各自的制备温度没有明显的依赖关系。在相同的电化学测试参数条件下，结晶的三氧化钨膜的变色响应速率低于非晶态膜。
