Ti掺杂WO3电致变色薄膜可以应用于智能窗上。有专家采用脉冲直流反应磁控溅射的方法分别制备了WO3与Ti掺杂WO3薄膜,并研究了氧气分压对薄膜晶体结构,表面形貌以及电致变色性能的影响,发现:
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Ti掺杂WO3薄膜结晶后转变为立方晶系,在350℃下制备的WO3:Ti薄膜CV曲线200次循环前后几乎重合,调制幅度没有明显衰减。随着氧气分压增大,沉积速率降低,WO3:Ti薄膜中氧含量增多,光学带隙逐渐减小,薄膜致密性增大;薄膜着色、褪色响应时间变短,薄膜变色速率增加;同时,薄膜电致变色循环稳定性先增大后减小,当氧气流量为13sccm时,循环稳定性最佳。