三氧化钨薄膜可以用于组装全固态灵巧窗，充当电致变色层。有专家对WO3薄膜的光学性能进行研究，其中，全固态电致变色窗着色态和漂白态的透射光谱曲线如下图所示，工作电压为±3.5V。
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专家表示，从图中可以看出，灵巧窗对可见光透射率具有一定的调节能力，但漂白态时的透射率偏低，主要原因是最后一层ITO膜透射率不高。因为采用InSn合金靶直流磁控溅射沉积ITO膜时，为获得高的透射率和电导率，通常要将沉积的ITO膜进行高温热处理。但，WO3和NiO膜经高温热处理后，电致变色性能会受损。因此，在全固态灵巧窗器件的制备中，最后一层ITO膜未经热处理。此外，目前，有专家已经掌握了采用ITO陶瓷靶不需经退火处理制备ITO膜的技术，因此在采用此项新的制备ITO膜的技术后，有望制备出性能更优良的全固态灵巧窗器件。
