氧化钨薄膜具有电致变色特性，因而可以用来生产智能窗，最终应用于节能建筑领域，发挥隔热保温、节能降耗、环保无污染的优势，此外，其还可以防眩光、抗紫外线。据悉，WO3薄膜可以通过化学气相沉积（CVD）法制备得到。
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化学气相沉积包括等离子增强CVD以及气相热解法，反应源一般为六羰基钨（W(CO)6）或WF6，此方法沉积速度快，且沉积成分可调。有专家以钨丝为加热电阻和蒸发源，在硅片基底上沉积WO3薄膜，并形成纳米结构阵列，这种方法被称为热丝CVD法。
