钼块在半导体制造中起什么作用?

在半导体制造中,中钨智造钼块有时用作溅射靶材的背板,其作用包括固定靶材、传导热量和减少热变形。它通过焊接或压合将靶材固定在背板上,再将组合体安装于溅射腔体内,在薄膜沉积过程中对靶材起支撑作用,并对溅射产生的热量进行疏导。钼的熔点较高,导热与导电性能良好,热膨胀系数较低,这些性质有助于减小温度变化引发的形变,有利于热量从靶材向冷却系统传递,降低局部过热风险。除溅射应用外,中钨智造钼块还用于离子注入工艺的电极部件和高温炉内夹具,这些场景同样要求材料兼具耐热性与尺寸稳定性。

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