纳米蓝色氧化钨需要用到的检测设备根据检测方法的不同而有所不同，可能用到的有X射线衍射仪、扫描电子显微镜、透射电子显微镜、光电子能谱仪和电子能量分析器等。
1.X射线衍射仪，利用X射线衍射原理研究物质内部微观结构的一种大型分析仪器，其基本构造包含高稳定度X射线源、样品及样品位置取向的调整机构系统、射线检测器和衍射图的处理分析系统。
2.扫描电子显微镜，英文简称SEM，主要是利用二次电子信号成像来观察样品的表面形态，即用极狭窄的电子束去扫描样品，通过电子束与样品的相互作用产生各种效应，其中主要是样品的二次电子发射。
3.透射电子显微镜，英文简称TEM，可以看到在光学显微镜下无法看清的小于0.2um的细微结构，这些结构称为亚显微结构或超微结构。要想看清这些结构，就必须选择波长更短的光源，以提高显微镜的分辨率。目前TEM的分辨力可达0.2nm。
4.光电子能谱仪主要由激发源、样品电离室、电子能量分析器、电子检测器、真空系统和数据处理系统等组成。激发源常用紫外辐射源和X射线源。使用紫外辐射源作为激发源的称为紫外光电子能谱，使用X射线的称为X射线光电子能谱，统称为光电子能谱。
5.电子能量分析器，主要是用来测量由样品表面发射出来的能量分布，所得光电子谱是一幅电子流强度相对于动能的图。
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