纳米陶瓷粒用钨酸铯可以利用固相反应制备得到。十几年前，就已经有研究人员利用固相反应将含钨酸铵和含Cs的金属盐为原料溶解进行热处理，之后在H2和N2（体积：V(H2)/V(N2)=95/5）混合气氛下于550℃热处理1h，最后在N2气氛于800℃再进行高温处理即可制得到钨酸铯材料。而且，在当时，钨酸铯薄膜具有良好的近红外遮蔽性能首次被提出。
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且说，固相反应在固体材料的高温过程中是一个普遍的物理化学现象，广义地讲，凡是有固相参与的化学反应都可称为固相反应。而高热固相反应法是指固相反应的反应温度一般高于600℃。而高温固气相反应法是一种较为传统的粉体制备方法，通常在固相法基础上通入一些还原性、惰性气体来提高产物的性能。此类法一般存在效率低、粉末不够细、易混入杂质等缺点，但也有着产量大、制备工艺简单等优点，所以仍是一种较为常用方法。
