大面积掺钼WO3电致变色玻璃

大面积掺钼WO3电致变色玻璃是现代建筑节能的一种新的解决方案。其中,作为重要电致变色层材料的钼掺杂氧化钨电致变色薄膜可以通过磁控溅射法制备得到。具体的溅射步骤如下:

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大面积掺钼WO3电致变色玻璃图片

将清洗后的FTO导电玻璃导电面朝上置于样品盘上,用3M胶带固定。将载有FTO导电玻璃的样品盘连同靶材一齐放入真空反应室,然后开始溅射。首先在大气状态下把溅射室抽真空,使溅射室内真空度达到10^-1Pa。往溅射室内充入气体,Ar2为工作气体,O2作为反应气体,并通过气体流量调节旋钮调节进气量至所需值。先用纯氩气预溅射10min,以除去靶材表面的污染物,预溅射结束后开始正式溅射。通过直流溅射的方法制备氧化钨电致变色薄膜。其中,溅射过程的参数:溅射靶材为钼掺杂氧化钨靶材;衬底为FTO导电玻璃;工作气体采用Ar2;Ar2气体流量为70sccm;反应气体采用O2;O2气体流量为1-4sccm;基底温度为室温;溅射气体压强为2.4Pa;溅射功率为60W;溅射时间为0.5h;工作电压为300V;工作电流为0.2A。

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