建筑节能用钼掺杂氧化钨薄膜可以结合磁控溅射法和喷涂法制备得到，或者直接通过喷涂法获得。有专家对磁控溅射法与喷涂法结合制备掺钼氧化钨薄膜组装的器件和直接喷涂制备掺钼氧化钨薄膜组装的器件进行研究，发现：
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http://www.tungsten-powder.com/chinese/tungsten_oxide.html
先磁控溅射再喷涂的钼掺杂氧化钨电致变色薄膜组装的器件的光调制范围最大。直接喷涂的电致变色薄膜所组装成的器件的光调制范围最小。这是因为先磁控溅射，可以起到过渡层的作用，使制得的薄膜颗粒粒径均匀，有很好的致密性，薄膜与FTO导电玻璃之间充分附着，使外加电流可以更快地传导到电致变色层中，提升了响应速度；然后进行喷涂，由喷涂制得的薄膜致密性比较差，可以使锂离子更容易地嵌入到氧化钨电致变色薄膜中。
