新型电致变色玻璃用钼掺杂氧化钨薄膜

新型电致变色玻璃用钼掺杂氧化钨薄膜可以通过直流溅射的方法制备得到。对此,专家表示,氧氩比是磁控溅射过程中的一个非常重要的因素。

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新型电致变色玻璃用钼掺杂氧化钨薄膜图片

专家解释到,溅射过程中会向真空反应室内通入氧气和氩气的混合气体。其中,氧气作为反应气体,氩气作为工作气体。当氩离子把靶材上的原子轰击出来飞向衬底的过程中,会在真空反应室内与氧气反应生成新的化合物,沉积到衬底上。化合物的组成成分对电致变色性能影响很大,而决定化合物组成成分的最关键因素是氧气与氩气的比例。因此,氧氩比是磁控溅射过程中的一个非常重要的因素。

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