智能玻璃用氧化钨薄膜

智能玻璃用氧化钨薄膜可以经由磁控溅射法制备得到。对此,专家表示,当氧氩比为某一个值时,电致变色器件的光调制范围达到最大。然后,随着氧分压的增大,光调制范围逐渐减小。为什么氧分压会影响电致变色器件的光调制范围?

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智能玻璃用氧化钨薄膜图片

因为氧含量过小时,靶材中的W2.9未能与氧气完全反应生成变色性能好的非理想配比的WOx,导致电极电荷负载量在变色过程中下降,进而造成变色性能较差。反之,当氧气流量过大时,磁控溅射的电致变色薄膜氧空位过多,对Li+的传输路径造成影响,从而降低了氧化钨薄膜的电致变色性能。

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