光学级三氧化钨是一种粒度可以达到光学级别（10-8数量级）的淡黄色粉末，纯度可以达到99.99%，遇热则变为深橙色，遇冷时恢复原色。
用溶胶-凝胶法和直流反应磁控溅射法制备了表面均匀致密的三氧化钨薄膜，并用双光束紫外可见分光光度计和X衍射分别对薄膜的透光性、结构形态进行了测定，观察退火温度对薄膜透光性和结构形态的影响，结果表明：
1.在高温（温度高于300℃）退火处理后，薄膜的透光率下降，且退火温度越高，其透光率越低。
2.在350℃以下退火处理后得到薄膜样品为非晶态。在350~400℃范围内退火处理，样品由非晶态向晶态转变。
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