掺钼氧化钨电致变色膜可以通过磁控溅射制备得到。专家表示，采用磁控溅射法制备Mo掺杂氧化钨电致变色薄膜时，可以尝试使用其他非化学计量比的WOx靶材，并进一步优化溅射参数，以得到性能更为优异的电致变色薄膜。
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此外，为了使薄膜具有更好地循环稳定性，可以在溅射时，对衬底进行加热，从而消除氧空位。而磁控溅射制备氧化镍电致变色薄膜时，可以用掺杂铬、锰的镍靶材来代替高纯镍靶材，以制得掺杂的氧化镍薄膜，进而提升电致变色性能。同样的，在溅射时，也可以对衬底进行加热来消除氧空位，使薄膜具有更好地循环稳定性。
