新型的钨针动态腐蚀制备装置

利用电化学腐蚀原理进行钨针制备的常用方法,可分为静态腐蚀和动态腐蚀两种。动态腐蚀,若采用压电陶瓷成本会较高,而且由于钨针提起的速度非常慢,所以腐蚀效率不是很高。针对于现有的动态腐蚀方法的不足,研究者设计出了一种新型的钨针动态腐蚀制备装置。

新型的钨针动态腐蚀制备装置图片

新型的钨针动态腐蚀制备装置包括固定基座、定位系统、控制系统和腐蚀溶液四大部分。固定基座为U形固定架,由钢架组成。

定位系统:由两相混合式直线步进电机、步进电机驱动器DM402A、钨针夹具组成。直线步进电机为两相混合式将直线步进电机导轨固定在钢架上,钨针夹持装置通过螺丝钉固定在步进电机上,钨针则夹持于夹具内。

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控制系统:由单片机(80C51)、电流监控反馈电路、电压切断电路构成。其中单片机控制电机上下往复运动,电流监控反馈电路由采样电阻(2Q)、RC低通滤波电路(R= 10kQ)、电压跟随器构成,电压切断电路则由高速电压比较器(AD827)、快速继电器及继电器驱动芯片(MC1416P)构成,目的是在电流降低到阈值以下后迅速切断钩针的电压。

腐蚀溶液:NaOH溶液,盛于烧杯中,电化学腐蚀的阳极悬空并浸入溶液,为直径7mm的圆柱形(圆柱高6mm)铜环。

钨针,作为一种常见的探针,广泛应用于纳米技术相关的领域,如扫描隧道显微镜、聚焦粒子束仪、纳米机械手探针等仪器中。

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