提高鎢在半導體製造中填孔能力的方法
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鎢是一種具有高傳導性的金屬元素,在半導體製造中,常被用作金屬層間的通孔(Via)和垂直接觸的接觸孔(Contact)的填充。基本上,積體電路是由數層材質不同的薄…
鎢是一種具有高傳導性的金屬元素,在半導體製造中,常被用作金屬層間的通孔(Via)和垂直接觸的接觸孔(Contact)的填充。基本上,積體電路是由數層材質不同的薄…
所謂硬質合金是以碳化鎢粉末為基體,以鈷粉作粘結劑經加壓、燒結而成。通常含碳化鎢94%,含鈷6%。由於其硬度很高,非常耐磨,有一定強度,適於高速切削。但韌性差,非…
在各種燒結技術中,微波加熱具有加熱速度快、整體加熱、選擇性加熱以及非熱效應等傳統熱傳導加熱方式所不具備的特點。硬質合金(WC-Co)粉末壓坯對微波具有良好的耦合…